модифицированное химическое осаждение из паровой фазы

modifikuotasis cheminis garinis nusodinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. modified chemical vapor deposition vok. modifizierte chemische Abscheidung aus der Gasphase, f rus. модифицированное химическое осаждение из паровой фазы, n pranc. déposition chimique modifiée en phase vapeur, f